Glass Cleaner
본문
Thiết bị làm sạch chất nền sớm trong quy trình LCD hoặc trước khi lắng đọng
Feature
1. Phương pháp băng tải ngang
2. Giảm thiểu hạt bằng EUV, Đĩa & Bàn chải cuộn, Vòi sen chất lỏng áp suất cao & đôi
3. Ngăn chặn sự hình thành khói và các hạt bằng hệ thống vận chuyển từ tính không tiếp xúc
4. Đảm bảo không gian bảo trì thông qua thiết kế tối ưu phần đường ống
Application
- - CF Cleaner, TF Cleaner, LTPS Cleaner(ELA, GI, SD)
