DI Water, Demi Water등 FPD, SEMI 공정에 필요한 Water 또는 Chemical을 In-line Heating 방식으로 가열하는 별치 Unit

Feature

• 1. 통신 방식에 의한 상하류 I/F 및 HOST ON-LINE 통신(RS-485,ETHERNET,PIO)
• 2. 전력량 모니터링 및 HOST 보고 (ETHERNET)
• 3. SAFETY INTERLOCK : EMO Push Button, Circuit breaker ,Earth leakage Circuit breaker,Leak detector, Over Temp등
• 4. 180KW의 대용량 HEATER 채용
• 5. 접액부 재질: SUS316
• 6. CE 또는 SEMI 인증 가능
• 7. 순간 정전 대응

Application

• - LCD & OLED Chemical Rinse 공정
• - Wafer Rinse 공정
• - 세정력 향상