R&D

연구개발현황

연구소 중심의 기술집약형 중소기업, 디바이스

  • 2021300mm 매엽식 Wafer Cleaner (Single Wafer Cleaner)
    개발 및 제품화 - 자체개발

  • 2019Micro LED 전사장치 및 전사방법 개발 - 산업부

  • 2017AMOLED 세척/건조 공정을 위한 EHS 친화적 대안인
    VVD(Vacuum Vapor Drying) 기술 개발

  • 2016AMOLED 세정공정 우수기술센터(ATC) 선정 - 산업부
    연구과제 – AMOLED용 FM MASK복합세정공정기술 개발

  • 2015다층 용액기반 인쇄전자용 박막코팅시스템 개발 - 산업부

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  • 인쇄/증착 Hybrid공정을 이용한 OLED 조명장비 개발 - 산업부
    OLED용 용액형 노즐 프린팅 공정개발 - 중기청    2012

  • 3D Display용 합착장비 개발 및 제품화 - 자체개발2011

  • 결정질 태양전지 고효율 Process Dryer 개발 - 중기청
    박막태양전지용 전도성 고분자 투명 전도막 코팅
    유리 및 필름기판 국산화 - 산업부
    300mm FOUP Cleaner 개발 및 제품화 - 자체 개발     2010

  • 고기능 초미세의 청정 디지털 프린팅 시스템 개발 - 산업부2008

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  • 2007300mm Tube Cleaner(Clytie) 연구개발 및 제품화 - 중기청

  • 2006300mm 45Nano급 IRIS 초미세량 공급장치 개발 및 제품화 - 중기청
    Single Spin Process System(4S-Clair)연구개발 및 양산적용

  • 2005제조공정 원격제어 및 처리를 위한 시스템 설계 및 개발(RCP) – 중기청

  • 200460Nano급 New Dryer 개발 완료

  • 2003300mm Wet Station 전장 및 S/W연구개발

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