R&D

研究开发现

研究所中心的技术集约型的中小企业、DEVICE

  • 2021300mm 单叶式 Wafer Cleaner (Single Wafer Cleaner)
    开发与产品化 - 自主开发

  • 2019开发Micro LED转印装置及转印方法 - 产业部

  • 2017AMOLED清洗/干燥工艺的EHS亲和替代方案
    VVD(Vacuum Vapor Drying)技术开发

  • 2016AMOLED 清洗工艺优秀技术中心(ATC) 选定 – 产业部
    研究课题 – 开发AMOLED用 FM MASK复合清洗工艺技术

  • 2015开发基于多层溶液的印刷电子用薄膜coating系统 - 产业部

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  • 使用印刷/蒸镀 Hybrid工艺的OLED 照明设备开发–产业部
    OLED用 溶液型 Nozzle Printing 工艺开发 – 中小企业厅    2012

  • 3D Display用 开发及产品化 - 自主开发2011

  • 开发 结晶质太阳能电池 高效率 Process Dryer – 中小企业厅
    薄膜 太阳能电池用 传导性 高分子 透明 传导膜 coating
    玻璃 及 film 基板 国产化 – 产业部
    300mm FOUP Cleaner 开发及产品化 – 自主开发     2010

  • 开发高功能超细微的清洁数字式Printing 系统 – 产业部2008

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  • 2007300mm Tube Cleaner(Clytie) 研发以及 产品化– 中小企业厅

  • 2006300mm 45Nano级 IRIS 超细微量 供给装置 开发 以及 产品化 – 中小企业厅
    Single Spin Process System(4S-Clair)研发及量产适用

  • 2005为了生产工艺远程控制 及处理的系统设计以及 开发(RCP) – 中小企业厅

  • 2004开发完 60Nano级New Dryer

  • 2003300mm Wet Station 电装 以及 S/W研究开发

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